[发明专利]检查装置和卡盘顶部的位置调整方法在审
| 申请号： | 202110274342.2 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN113514745A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 远藤朋也 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供能够容易地进行卡盘顶部的角度调整的检查装置和卡盘顶部的位置调整方法。本发明提供一种检查装置，其包括：多个检查部，其对多个卡盘顶部上的作为被检查体的电子器件分别进行检查；测量部，其测量与上述多个检查部对应地分别配置的上述多个卡盘顶部各自的表面上的多个点的高度位置、或者从测量基准点至上述多个点为止的高度方向的距离；计算部，其基于上述多个点的高度位置、或者从上述测量基准点至上述多个点为止的高度方向的距离，计算各卡盘顶部的上述多个点的高度方向的调整量；和调整机构，其基于上述调整量对各卡盘顶部调整上述卡盘顶部的角度。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 卡盘 顶部 位置 调整 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110274342.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
