[发明专利]检查装置和卡盘顶部的位置调整方法

权利要求书

1.一种检查装置，其特征在于，包括：

多个检查部，其对多个卡盘顶部上的作为被检查体的电子器件分别进行检查；

测量部，其测量与所述多个检查部对应地分别配置的所述多个卡盘顶部各自的表面上的多个点的高度位置、或者从测量基准点至所述多个点为止的高度方向的距离；

计算部，其基于所述多个点的高度位置、或者从所述测量基准点至所述多个点为止的高度方向的距离，计算各卡盘顶部的所述多个点的高度方向的调整量；和

调整机构，其基于所述调整量对各卡盘顶部调整所述卡盘顶部的角度。

2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于：

所述调整量是对各卡盘顶部使所述多个点的高度位置或者从所述测量基准点至所述多个点为止的高度方向的距离一致的调整量。

3.如权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：

所述调整量是用于进行使所述卡盘顶部的表面成为水平的角度调整的调整量。

4.如权利要求1至3中任一项所述的检查装置，其特征在于：

还包括对各检查部进行各卡盘顶部的位置对准的位置对准机构，

所述调整机构设置于所述位置对准机构之上，

各卡盘顶部，经由根据所述调整量调整所述多个点的高度位置的所述调整机构被保持在所述位置对准机构来进行所述位置对准。

5.如权利要求4所述的检查装置，其特征在于：

所述调整机构和所述位置对准机构对所述多个检查部设置一个，能够移动到所述多个检查部的位置。

6.一种卡盘顶部的位置调整方法，其特征在于：

所述卡盘顶部是包含对多个卡盘顶部上的作为被检查体的电子器件分别进行检查的多个检查部的检查装置中的卡盘顶部，

所述位置调整方法包括：

测量与所述多个检查部对应地分别配置的所述多个卡盘顶部各自的表面上的多个点的高度位置、或者从测量基准点至所述多个点为止的高度方向的距离的步骤；

基于所述多个点的高度位置、或者从所述测量基准点至所述多个点为止的高度方向的距离，计算各卡盘顶部的所述多个点的高度方向的调整量的步骤；和

基于所述调整量对各卡盘顶部调整所述卡盘顶部的角度的步骤。