[发明专利]蒸镀方法及蒸镀装置有效
| 申请号： | 202110252253.8 | 申请日： | 2021-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN113025964B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 张萌 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/58;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 段月欣 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供一种蒸镀方法及蒸镀装置。本申请实施例第一方面中的蒸镀方法包括：提供待蒸镀基板，待蒸镀基板包括预设孔区和围绕预设孔区的蒸镀区；对待蒸镀基板进行蒸镀处理，且对预设孔区进行热处理，热处理步骤使与预设孔区对应的至少部分蒸镀材料在预设孔区的凝结速率小于或等于蒸发速率，以在待蒸镀基板形成覆盖蒸镀区的功能层，功能层未覆盖预设孔区，或者，功能层位于预设孔区的部分的厚度小于功能层位于蒸镀区的部分的厚度。增大预设孔区的透光率，改善屏下功能模组的感光过程，保证感光质量，提高屏下功能模组的应用性能。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 装置 | ||
【主权项】：
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