[发明专利]一种半导体材料载流子浓度的检测方法在审
| 申请号： | 202110250914.3 | 申请日： | 2021-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN113030188A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 朱景程;刘日;王景峰;孙磊 | 申请（专利权）人： | 内蒙古工业大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 湖南楚墨知识产权代理有限公司 43268 | 代理人： | 麦振声 |
| 地址： | 010051 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体材料载流子浓度的检测方法，包括S1：首先在实验室内部搭建电光效应试验仪器，再将需要检测的半导体材料置于电光效应试验仪的检测筒处，并与检测筒的正负电极接口对应；S2：选择可调节电容大小的平行板电容器，并使得半导体材料位于平行板电容器之间；S3：选择两段式的送风管道，并将电加热丝置于两段送风管道的一端处，通过管道连接结构连接两段式送风管道；本发明外加可调节电容大小的平行板电容器，使得待检测的半导体材料处于一定的电场内部，通过调节电场大小，得出待检测半导体材料的载流子浓度，相比较霍尔效应检测，不仅仅提高了检测效率，同时也提高了半导体材料载流子浓度的检测准度以及降低检测误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体材料 载流子 浓度 检测 方法 | ||
【主权项】：
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