[发明专利]一种六自由度微动装置及电子束装备有效
| 申请号： | 202110248740.7 | 申请日： | 2021-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN112596350B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 胡兵;江旭初;蒋赟 | 申请（专利权）人： | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05K9/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 200135 上海市浦东新区自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及集成电路装备制造技术领域，公开一种六自由度微动装置及电子束装备。微动装置包括硅片承载台、运动组件、固定组件和驱动组件，运动组件包括运动板和上磁屏蔽结构；固定组件包括连接板和下磁屏蔽结构，下磁屏蔽结构与上磁屏蔽结构配合形成磁屏蔽空间；驱动组件设于磁屏蔽空间内，包括沿第一方向设置的第一水平音圈电机和第一垂向音圈电机，沿第二方向设置的第二水平音圈电机和第二垂向音圈电机，以及沿第三方向设置的第三水平音圈电机和第三垂向音圈电机；各音圈电机的运动部均与上磁屏蔽结构连接；各音圈电机均采用双线圈式平板音圈电机。本发明能够为硅片提供六自由度的精密运动，并能减小电机漏磁，在硅片表面的漏磁能达到nT量级。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自由度 微动 装置 电子束 装备 | ||
【主权项】：
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