[发明专利]一种探测反射光束角度变化的装置、方法及膜厚测量装置有效
| 申请号： | 202110241291.3 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN113155040B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 王奇;李仲禹;王政 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人： | 张英 |
| 地址： | 201702 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种探测反射光束角度变化的装置、方法及膜厚测量装置，该装置包括探测光源，用于产生偏振态的入射光束；至少一光隔离器，用于接受入射光束形成偏振入射光束透射至光束调整模块，偏振入射光束平行于第一入射光束；还用于接收经光束调整模块调整后反射光束形成偏振反射光束并与入射光束的传输方向呈相对分开角度射出；光束调整模块，用于调整偏振入射光束的场强分布并使其射入待测体表面；还用于接收自身视场范围内准直反射光束并进一步调整反射光束场强分布使其射入光隔离器。本发明利用双折射晶体和法拉第旋光片分离探测光的入射光束和出射光束，并在入射光路上设置瞳面，对瞳面进行分割，提高探测器信噪比，该装置结构简单，易于工程实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探测 反射 光束 角度 变化 装置 方法 测量 | ||
【主权项】：
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