[发明专利]一种炉管清洁方法在审
申请号: | 202110240477.7 | 申请日: | 2021-03-04 |
公开(公告)号: | CN113025994A | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 雷丽茶;赵颖;任勇;何悦 | 申请(专利权)人: | 横店集团东磁股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/50;B08B9/032;B08B9/035 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 巩克栋 |
地址: | 322118 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种炉管清洁方法,所述的炉管清洁方法包括:(Ⅰ)对炉管依次进行吹扫和抽空,完成一次吹扫抽空操作,重复吹扫抽空操作至少两次;(Ⅱ)待炉管内稳压后维持一段时间,随后将炉管内抽空,完成一次稳压抽空操作,重复稳压抽空操作至少两次;(Ⅲ)对炉管内依次进行清洗、抽空和充气,完成炉管的清洁工作。采用本发明提供的炉管清洁方法对多次使用后的炉管进行清洁,可以获得良好的降粉尘效果,在炉管工作过程中,能有效防止炉内粉尘粘附在材料表面,降低了材料表面出现黑点和麻点的概率。 | ||
搜索关键词: | 一种 炉管 清洁 方法 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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