[发明专利]光刻机整平装置和具有其的光刻机有效
| 申请号： | 202110236610.1 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN113031401B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 曲鲁杰;何少锋;关远远 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人： | 卢春燕 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机整平装置和具有其的光刻机，光刻机整平装置包括：平台，平台上设有吸盘组件，吸盘组件包括吸盘和至少一个抽气装置，抽气装置与吸盘相连，吸盘上适于放置芯片，当抽气装置工作时芯片适于被吸附在吸盘上；机架，机架设在平台的上方，机架上设有吹气组件，吹气组件包括在水平面内可运动的至少一个吹气件，吹气件包括吹气口，吹气口与吸盘相对。根据本发明的光刻机整平装置，可以有效避免芯片发生形变和翘曲，保证芯片的平整度，且方便后续对芯片进行曝光，提高芯片的曝光精度，从而可以有效地降低芯片曝光的不良率。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 平装 具有 | ||
【主权项】：
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