[发明专利]发射尖端及热场发射电子源在审
| 申请号： | 202110233954.7 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN112786416A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 郝占海;蔡素枝;陆梁 | 申请（专利权）人： | 大束科技（北京）有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/063 | 分类号： | H01J37/063;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 高淑凤 |
| 地址： | 102200 北京市昌平区回*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种发射尖端及热场发射电子源，涉及电子显微镜技术领域。发射尖端包括针本体和针尖，针本体的一端与针尖的一端相连接，针尖远离所述针本体的一端向前延伸形成双曲线形结构且逐渐缩小，双曲线形结构的头端向前延伸形成长直的圆柱体形结构，通过将针尖的前端延伸形成双曲线形结构，更加细长，改变了尖端基底的形状，其逐渐缩小的趋势叠加双曲线形结构的结构设计使得电场在尖端发生更强烈地弯曲，又在此基础上通过将双曲线形结构的头端向前延伸形成圆柱体形结构，保持了尖端半径不变，从而在尖端半径不变、外加吸出电压不变的情况下提高了尖端表面的电场强度，增大了发射电流、降低了外加吸出电压。 | ||
| 搜索关键词： | 发射 尖端 电子 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大束科技（北京）有限责任公司，未经大束科技（北京）有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110233954.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于供暖系统的节能减排型暖风机
- 下一篇：一种自卸车及其防倾翻系统
- 同类专利
- 电子源、电子枪以及带电粒子束装置-202080101288.5
- 糟谷圭吾;石川修平;谷本宪史;土肥隆;松永宗一郎;森田裕;米须大吾;宫田健治 - 株式会社日立高新技术
- 2020-06-29 - 2023-01-31 - H01J37/063
- 一种电子源，具备在沿着中心轴的方向上的一侧端部具有开口部的抑制电极以及前端从开口部突出的电子发射材料，其中，抑制电极在比开口部靠外周方向的位置还具备后退部，该后退部在沿着中心轴的方向上后退至比开口部远离电子发射材料的前端的位置，后退部的至少一部分具备配置为距开口部的中心为直径2810μm以内等的构造。由此，实现降低了因电子发射材料与抑制电极的轴偏离引起的装置性能的机械差异的电子源、电子枪、以及使用了该电子枪的电子显微镜等带电粒子束装置。
- 一种实现场发射的LaB
- 方琦;周天培;吴长征;谢毅 - 中国科学技术大学
- 2022-10-28 - 2023-01-17 - H01J37/063
- 本发明提供了一种实现场发射的LaB
- 一种钨灯丝电子枪阴极结构及其制备方法-202110580024.9
- 张齐容;曹峰;叶志楠;柯雪敏;卢志钢;姚一帆;刘纪凯;孙思嘉;栗宽;孙飞 - 生物岛实验室
- 2021-05-26 - 2022-11-29 - H01J37/063
- 本公开实施例公开了一种钨灯丝电子枪阴极结构，包括：第一端臂，第二端臂，两臂端以相同预设角度呈线性同步延伸；尖端主体，分别与所述第一端臂和所述第二端臂相连，形成发叉形形状，所述尖端主体经尖锐化处理后形成具有基部和延伸部的尖端结构；其中，所述延伸部为从所述基部向外延伸突出的具有均匀弯曲曲面的几何体。本公开通过获得具有更小曲率半径的“V”形尖端的发叉形钨阴极，在正常工作温度下，电子可由更小的面积发射离开“V”形阴极尖端，使得该阴极尖端的场强更大，避免了在正常工作温度下容易出现的空间电荷效应；电子发射效率以及电场强度均得到显著提升，有利于提高扫描电镜的分辨率。
- 一种钨灯丝电子枪阴极结构-202121147825.8
- 张齐容;曹峰;叶志楠;柯雪敏;卢志钢;姚一帆;刘纪凯;孙思嘉;栗宽;孙飞 - 生物岛实验室
- 2021-05-26 - 2021-10-29 - H01J37/063
- 本实用新型的实施例公开了一种钨灯丝电子枪阴极结构，包括：第一端臂，第二端臂，两臂端以相同预设角度呈线性同步延伸；尖端主体，分别与所述第一端臂和所述第二端臂相连，形成发叉形形状，所述尖端主体经尖锐化处理后形成具有基部和延伸部的尖端结构；其中，所述延伸部为从所述基部向外延伸突出的具有均匀弯曲曲面的几何体。本实用新型通过获得具有更小曲率半径的“V”形尖端的发叉形钨阴极，在正常工作温度下，电子可由更小的面积发射离开“V”形阴极尖端，使得该阴极尖端的场强更大，避免了在正常工作温度下容易出现的空间电荷效应；电子发射效率以及电场强度均得到显著提升，有利于提高扫描电镜的分辨率。
- 发射针结构、热场发射电子源及电子显微镜-202120464207.X
- 郝占海;蔡素枝;陆梁 - 大束科技（北京）有限责任公司
- 2021-03-03 - 2021-09-21 - H01J37/063
- 本实用新型提供了一种发射针结构、热场发射电子源及电子显微镜，涉及电子显微镜技术领域，解决了氧化锆等低逸出功材料团易从发射针上脱落，影响电子源寿命的技术问题。该发射针结构位于电子源中发射电子，其包括针本体和低逸出功材料团，针本体的周壁上设置有容纳部，低逸出功材料团在烧结过程中形成有嵌入容纳部内的结合部位，且结合部位与容纳部的配合结构将低逸出功材料团夹固于针本体上。本实用新型的发射针结构能够将低逸出功材料团更为牢固的固定在针本体上，既能够增加储备氧化锆的数量，也能够增强低逸出功材料团与针本体结合的强度，防止低逸出功材料团脱落，延长了热场发射电子源的使用寿命。
- 发射尖端及热场发射电子源-202120464209.9
- 郝占海;蔡素枝;陆梁 - 大束科技（北京）有限责任公司
- 2021-03-03 - 2021-09-21 - H01J37/063
- 本实用新型提供了一种发射尖端及热场发射电子源，涉及电子显微镜技术领域。发射尖端包括针本体和针尖，针本体的一端与针尖的一端相连接，针尖远离所述针本体的一端向前延伸形成双曲线形结构且逐渐缩小，双曲线形结构的头端向前延伸形成长直的圆柱体形结构，通过将针尖的前端延伸形成双曲线形结构，更加细长，改变了尖端基底的形状，其逐渐缩小的趋势叠加双曲线形结构的结构设计使得电场在尖端发生更强烈地弯曲，又在此基础上通过将双曲线形结构的头端向前延伸形成圆柱体形结构，保持了尖端半径不变，从而在尖端半径不变、外加吸出电压不变的情况下提高了尖端表面的电场强度，增大了发射电流、降低了外加吸出电压。
- 一种尾部空心电极-202023092666.4
- 江峰 - 惠州亿达晨峰五金科技有限公司
- 2020-12-21 - 2021-06-25 - H01J37/063
- 本实用新型公开了一种尾部空心电极，包括保护套和后盖，所述保护套的内部设置有电极，且保护套的下方设置有连接块，所述连接块的下方均设置有对接凹块，且对接凹块的下方均设置有对接凸块，所述对接凸块的下方设置有保护盖，且保护盖的内部设置有密封垫，所述保护盖的内侧设置有输出接口，所述后盖设置在保护套的上方。该尾部空心电极，设置有电极，由于电极内依次设置有第三填充层、镀镍层、第四填充腔和镀金层，这样可以通过镀镍层来提高电极的防腐蚀性能和稳定性，避免在长期使用下，受到外界细菌污渍的腐蚀，造成损坏，同时镀金层可以增强电极的导电性，便于提高电极的工作效率，利于增强电极的使用性能和稳定性，便于提高使用寿命。
- 发射针结构、热场发射电子源及电子显微镜-202110233582.8
- 郝占海;蔡素枝;陆梁 - 大束科技（北京）有限责任公司
- 2021-03-03 - 2021-05-11 - H01J37/063
- 本发明提供了一种发射针结构、热场发射电子源及电子显微镜，涉及电子显微镜技术领域，解决了氧化锆等低逸出功材料团易从发射针上脱落，影响电子源寿命的技术问题。该发射针结构位于电子源中发射电子，其包括针本体和低逸出功材料团，针本体的周壁上设置有容纳部，低逸出功材料团在烧结过程中形成有嵌入容纳部内的结合部位，且结合部位与容纳部的配合结构将低逸出功材料团夹固于针本体上。本发明的发射针结构能够将低逸出功材料团更为牢固的固定在针本体上，既能够增加储备氧化锆的数量，也能够增强低逸出功材料团与针本体结合的强度，防止低逸出功材料团脱落，延长了热场发射电子源的使用寿命。
- 发射尖端及热场发射电子源-202110233954.7
- 郝占海;蔡素枝;陆梁 - 大束科技（北京）有限责任公司
- 2021-03-03 - 2021-05-11 - H01J37/063
- 本发明提供了一种发射尖端及热场发射电子源，涉及电子显微镜技术领域。发射尖端包括针本体和针尖，针本体的一端与针尖的一端相连接，针尖远离所述针本体的一端向前延伸形成双曲线形结构且逐渐缩小，双曲线形结构的头端向前延伸形成长直的圆柱体形结构，通过将针尖的前端延伸形成双曲线形结构，更加细长，改变了尖端基底的形状，其逐渐缩小的趋势叠加双曲线形结构的结构设计使得电场在尖端发生更强烈地弯曲，又在此基础上通过将双曲线形结构的头端向前延伸形成圆柱体形结构，保持了尖端半径不变，从而在尖端半径不变、外加吸出电压不变的情况下提高了尖端表面的电场强度，增大了发射电流、降低了外加吸出电压。
- 空间电荷不敏感的电子枪设计-201980029661.8
- C·西尔斯;L·葛瑞拉 - 科磊股份有限公司
- 2019-05-27 - 2020-12-11 - H01J37/063
- 本发明揭示具有特定内部宽度尺寸、扫掠电极或特定内部宽度尺寸与扫掠电极的组合的电子枪系统。所述内部宽度尺寸可小于在束限制孔径下游的通道中的次级电子的拉莫尔半径的值的两倍，且所述次级电子的拉莫尔时间可大于1ns。所述扫掠电极可在漂移区中产生电场，所述电场可增大所述通道中的次级电子的动能。
- 一种电子枪-201710182049.7
- 龙继东;刘平;陈弹蛋;彭宇飞;秦臻;李建北;黄刚;向军;李天涛;陈欣;杨洁;陈德彪;刘尔祥 - 中国工程物理研究院流体物理研究所
- 2017-03-24 - 2019-06-14 - H01J37/063
- 本发明公开了一种电子枪，包括中空的支撑组件，在支撑组件内安装有阴极组件，在支撑组件上端通过栅网压片环固定安装有与阴极组件相匹配的栅网，还包括与支撑组件、阴极组件连接的插针组件。本发明的电子枪，通过中空的支撑组件、阴极组件、栅网、插针组件的有机结合，大大缩小了其本身的空间体积，使得其结构经凑，使用寿命延长，在相同功率的情况下，体积的缩小极大地提高了其使用的便利性。
- 用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪-201510337171.8
- 刘骏;吴爱军;王刘成 - 无锡日联科技股份有限公司
- 2015-06-17 - 2018-01-16 - H01J37/063
- 本发明公开了一种用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪，其包括芯柱、热子、热子支撑座、第一级栅、第二级栅和第三级栅，其中，所述芯柱上设置有若干根电极，所述芯柱上的部分电极与所述热子支撑座相连接，所述热子安装于所述热子支撑座上，所述热子与所述芯柱上的电极连接，所述第一级栅与所述热子支撑座相连接，所述第二级栅与所述第一级栅连接，所述第三级栅与所述第二级栅连接。上述多级聚焦阴极电子枪的热子点亮，发射电子，第一级栅加负电压汇聚电子，第二级栅加1500V高压加速电子并控制管流，第三级栅汇聚电子流并在100KV的高压电场作用下，热电子流在18mm行程处的汇聚焦点可达到5μm，使焦点5μm管电压为100KV的X射线管成为可能。
- 大气电子束加工设备用电子枪-201610632479.X
- 韦寿祺;朱国坤;黄小东;张建飞;黄兴泉;覃胤鸿 - 桂林狮达机电技术工程有限公司
- 2016-08-04 - 2018-01-05 - H01J37/063
- 本发明公开一种大气电子束加工设备用电子枪，其整体呈轴对称结构，自下而上包括第一等离子体窗口、第一真空腔、聚焦装置、气动窗口、第二等离子体窗口、第二真空腔、阳极、第三真空腔和电子束发生器。本发明采用第一离子体窗口、气动窗口和第二离子体窗口相串联的组合式结构，电子枪中构成真空梯度极大的电子束飞行路径，降低电子束的能量损失和能量密度的下降，以解决电子束加工设备在大气环境中进行电子束加工存在的两大关键技术。
- 一种电子枪-201720294852.5
- 龙继东;刘平;陈弹蛋;彭宇飞;秦臻;李建北;黄刚;向军;李天涛;陈欣;杨洁;陈德彪;刘尔祥 - 中国工程物理研究院流体物理研究所
- 2017-03-24 - 2017-10-03 - H01J37/063
- 本实用新型公开了一种电子枪，包括中空的支撑组件，在支撑组件内安装有阴极组件，在支撑组件上端通过栅网压片环固定安装有与阴极组件相匹配的栅网，还包括与支撑组件、阴极组件连接的插针组件。本实用新型的电子枪，通过中空的支撑组件、阴极组件、栅网、插针组件的有机结合，大大缩小了其本身的空间体积，使得其结构经凑，使用寿命延长，在相同功率的情况下，体积的缩小极大地提高了其使用的便利性。
- 大气电子束加工设备用电子枪-201620839359.2
- 韦寿祺;朱国坤;黄小东;张建飞;黄兴泉;覃胤鸿 - 桂林狮达机电技术工程有限公司
- 2016-08-04 - 2017-02-08 - H01J37/063
- 本实用新型公开一种大气电子束加工设备用电子枪，其整体呈轴对称结构，自下而上包括第一等离子体窗口、第一真空腔、聚焦装置、气动窗口、第二等离子体窗口、第二真空腔、阳极、第三真空腔和电子束发生器。本实用新型采用第一离子体窗口、气动窗口和第二离子体窗口相串联的组合式结构，电子枪中构成真空梯度极大的电子束飞行路径，降低电子束的能量损失和能量密度的下降，以解决电子束加工设备在大气环境中进行电子束加工存在的两大关键技术。
- 用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪-201520421572.7
- 刘骏;吴爱军;王刘成 - 无锡日联科技股份有限公司
- 2015-06-17 - 2015-12-16 - H01J37/063
- 本实用新型公开了一种用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪，其包括芯柱、热子、热子支撑座、第一级栅、第二级栅和第三级栅，其中，所述芯柱上设置有若干根电极，所述芯柱上的部分电极与所述热子支撑座相连接，所述热子安装于所述热子支撑座上，所述热子与所述芯柱上的电极连接，所述第一级栅与所述热子支撑座相连接，所述第二级栅与所述第一级栅连接，所述第三级栅与所述第二级栅连接。上述多级聚焦阴极电子枪的热子点亮，发射电子，第一级栅加负电压汇聚电子，第二级栅加1500V高压加速电子并控制管流，第三级栅汇聚电子流并在100KV的高压电场作用下，热电子流在18mm行程处的汇聚焦点可达到5μm，使焦点5μm管电压为100KV的X射线管成为可能。
- 一种高能量电子枪-201420237937.6
- 郭方准;董华军;臧侃;游燕;侯宾宾;薛冬冬 - 大连交通大学
- 2014-05-09 - 2014-08-27 - H01J37/063
- 本实用新型公开了一种高能量电子枪，包括电子发射机构、聚焦机构、偏转机构、差分抽真空维持机构和电极调节机构。由于本实用新型采用了差分抽真空维持机构，同时配合阳极结构的特点，可以保持控制极所在空间具有较高的真空度。由于阳极小孔和电子束出口的小孔尺寸很小，所以真空腔室和控制极圆管的内部空间两个腔体之间的气体导通率很小，使得差分抽真空可行，从而提高了阴极灯丝的使用寿命，进而延长了整个高能量电子枪的使用寿命。本实用新型通过改变聚焦机构中空芯线圈电流的大小，进而改变其内部的磁场强度来实现电子束的聚焦，从而调整电子束束斑的大小。本实用新型通过改变偏转机构中环形线圈电流的大小，从而调整电子束束斑的位置。
- 一种高能量电子枪-201410195904.4
- 郭方准;董华军;臧侃;游燕;侯宾宾;薛冬冬 - 大连交通大学
- 2014-05-09 - 2014-07-16 - H01J37/063
- 本发明公开了一种高能量电子枪，包括电子发射机构、聚焦机构、偏转机构、差分抽真空维持机构和电极调节机构。由于本发明采用了差分抽真空维持机构，同时配合阳极结构的特点，可以保持控制极所在空间具有较高的真空度。由于阳极小孔和电子束出口的小孔尺寸很小，所以真空腔室和控制极圆管的内部空间两个腔体之间的气体导通率很小，使得差分抽真空可行，从而提高了阴极灯丝的使用寿命，进而延长了整个高能量电子枪的使用寿命。本发明通过改变聚焦机构中空芯线圈电流的大小，进而改变其内部的磁场强度来实现电子束的聚焦，从而调整电子束束斑的大小。本发明通过改变偏转机构中环形线圈电流的大小，从而调整电子束束斑的位置。
- 电子枪、真空处理装置-201080041421.9
- 渡边将也;楠本淑郎 - 株式会社爱发科
- 2010-09-15 - 2012-05-30 - H01J37/063
- 本发明的电子枪的特征在于，在比阳极电极（23）靠近发射口（13）侧具备被施加了相对于阳极电极（23）为正电压的推斥电极（24），所述推斥电极（24）将通过电子束与残留气体的碰撞而产生的沿着中心轴线（28）向阴极电极（21）方向行进的正离子向真空槽（18）侧推回。由于所述推斥电极（24）是圆筒形形状，所以不使电子束的轨道弯曲。此外，由于在所述推斥电极（24）形成有许多细孔，所以推斥电极（24）内的气体通过所述细孔而被真空排气。由此，能够提供防止正离子入射到阴极电极（21）的长寿命的电子枪。
- 专利分类
