[发明专利]一种用于化学气相沉积法镀膜玻璃的反应器有效
| 申请号： | 202110231874.8 | 申请日： | 2021-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN112777943B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 韩高荣;刘军波;刘涌;曹涯雁;应益明;莫建良 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00;C03C17/245 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 高佳逸;胡红娟 |
| 地址： | 310013 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于化学气相沉积法镀膜玻璃的反应器，包括可独立预设温度的对进入的反应气体在反应器长度方向上可实施独立均匀布气的进气室和钢梁承载体；进气室包括均压空腔和包围均压空腔、由外界控制系统控制的用于控制均压空腔内反应气体温度的热媒介质腔；钢梁承载体包括进气室、进气通道、反应室、排气通道、排气室，构成反应气体通道。进气室钢构独立于反应室、排气室的钢构，其通过滑块螺栓与反应室、排气室的钢构连接，连接处设保温材料。本发明实现了进气室和反应室不同温度控制，以及在玻璃带横向方向可均匀布置的排气室，有效提高用于化学气相沉积法镀膜玻璃的工艺可控性和产品质量，适合平板玻璃生产线应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 化学 沉积 镀膜 玻璃 反应器 | ||
【主权项】：
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