[发明专利]一种半导体膜状扩散源原料防凝装置在审
| 申请号： | 202110230382.7 | 申请日： | 2021-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN113023127A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 汪良恩;王锡康;姜兰虎;王桂枝 | 申请（专利权）人： | 山东芯源微电子有限公司 |
| 主分类号： | B65D88/06 | 分类号： | B65D88/06;B65D90/00;B65D90/12 |
| 代理公司： | 山东瑞宸知识产权代理有限公司 37268 | 代理人： | 王萍 |
| 地址： | 250200 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，属于生产成型设备技术领域，包括机架、偏心轮，在所述偏心轮上部设有对称的挡板，在所述挡板侧面上下分别设有上支撑杆、下支撑杆，在所述上支撑杆、下支撑杆端部分别设有张力弹簧、限位块，套筒组件套接在上支撑杆、下支撑杆上的张力弹簧、限位块的中间位置，在所述套筒组件侧面设有轴承座，料桶两端分别置于轴承座上。旋转电机输出端连接转轴，转轴带动偏心轮转动，一方面，料桶两端分别置于轴承座上，能够在轴承座内自转，另一方面，偏心轮转动，在离心力的作用下，料桶两端连接的套筒组件在上支撑杆、下支撑杆滑动，挤压或拉伸张力弹簧，形成摆动，通过摆动和自转防止料桶浆料凝结。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 扩散 原料 装置 | ||
【主权项】：
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