[发明专利]清洗方法和清洗装置在审
| 申请号： | 202110212467.2 | 申请日： | 2021-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN113369215A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 铃木洁 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;王海奇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供清洗方法和清洗装置，不会对镀敷液、用于保持基板的部件即基板保持架带来不良影响，并且能够除去无法利用纯水除去的附着于电接点的污垢。本发明的清洗方法是基板保持架的清洗方法，该基板保持架具有用于为了对基板进行镀敷而与基板接触来向基板供电的电接点，其中，该清洗方法具有通过柠檬酸水溶液来清洗安装于基板保持架的电接点的清洗工序。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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