[发明专利]一种薄膜晶体管及其制造方法在审
| 申请号： | 202110209354.7 | 申请日： | 2021-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN114975632A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 杨磊;叶江波;晏国文;尚琼;赵晓辉;于大永;胡永海;莫伦枝 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/423;H01L21/34;H01L27/12;H01L27/32;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 深圳市六加知识产权代理有限公司 44372 | 代理人： | 许铨芬 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及显示面板技术领域，尤其涉及一种薄膜晶体管及其制造方法，该薄膜晶体管包括基底、有源层、栅绝缘层、栅极层和源极、漏极，有源层设置于基底上，栅绝缘层设置于有源层上，栅极层设置于栅绝缘层上，并且，该有源层分别与源极和漏极连接。其中，该栅极层为多层结构，包括顶层导电层和底层导电层，底层导电层包括至少一层第一导电层，顶层导电层覆盖该底层导电层的倾斜侧壁。从而，该顶层导电层能对该底层导电层的倾斜侧壁形成保护，能有效阻止剥离液进入该倾斜侧壁将倾斜侧壁上的小孔洞腐蚀成大的空洞。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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