[发明专利]基板量测系统及其方法在审
| 申请号： | 202110209119.X | 申请日： | 2021-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN113390894A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 邹嘉骏;林伯聪;黄冠勋;张勋豪 | 申请（专利权）人： | 由田新技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/88;G01B11/24;G01B11/06;G01B11/02;G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 王立民;曾晨 |
| 地址： | 中国台湾新北市中*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板量测系统及其方法，该基板测量系统用于量测一基板上的线路信息，该基板量测系统包括一第一影像捕获设备、一第二影像捕获设备、一检测平台以及一处理装置。该第一影像捕获设备设置于该基板的俯视方向侧，用以获取该基板的一俯视影像。该第二影像捕获设备设置于该基板的侧视方向侧，用以获取该基板的一侧视影像。该检测平台用以调整该基板、该第一影像捕获设备以及该第二影像捕获设备之间的相对位置关系。该处理装置接收并根据该俯视影像及该侧视影像，产生该基板上的线路信息。 | ||
| 搜索关键词： | 基板量测 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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