[发明专利]基板量测系统及其方法

说明书

本发明提供一种基板量测系统及其方法，该基板测量系统用于量测一基板上的线路信息，该基板量测系统包括一第一影像捕获设备、一第二影像捕获设备、一检测平台以及一处理装置。该第一影像捕获设备设置于该基板的俯视方向侧，用以获取该基板的一俯视影像。该第二影像捕获设备设置于该基板的侧视方向侧，用以获取该基板的一侧视影像。该检测平台用以调整该基板、该第一影像捕获设备以及该第二影像捕获设备之间的相对位置关系。该处理装置接收并根据该俯视影像及该侧视影像，产生该基板上的线路信息。

技术领域

本发明提供一种基板量测系统及其方法，特别是指一种用以生成线路三维影像图的基板量测系统。

背景技术

随着科技的发展，电子产品逐渐朝向微型化、集成化的方向演进。过去一般电路的设计，在进行集成化时，电路板面积、零件数量、产品功能、噪声、特性均必须进行一并考虑。而在集成化的过程中，最容易遇到的问题在于集成化所产生的噪声问题。

一般而言，当不须考虑集成化的需求时，线路和线路之间可以通过保留一定的间隔避免线路间因为交流讯号产生的电磁感应(Electromagnetic Interference,EMI)而生成噪声。然而在集成化的需求中，基板上所能够使用的空间有限，造成的结果是不仅工程师布局(layout)时必须考虑走线的路径，同时必须在线路的微观形态上也必须要进行通盘的考虑。在集成化电路的设计中，线路的型态对于噪声的生成有举足轻重的地位，型态不佳的线路不仅可能造成阻抗不匹配而生成反射信号、同时边角的形状有可能造成电磁感应的效应增幅，而影响周边正常的其他线路。

在现有的制程中，对于线路的检测可通过自动光学检测系统(AOI system)，经由二维光学影像拍摄基板，经由机器视觉方式确认线路的瑕疵。然而，先前技术虽然可以通过影像中获取线路的表面瑕疵，但一些型态上的瑕疵却无法有效的被识别；另一方面，线路型态与阻抗匹配及噪声生成之间有高度的相关性，一些人工辨识难以被检测出来的差异，可能一样会产生阻抗不匹配或是EMI噪声的风险，显然尚待克服。

发明内容

为达到上述目的，本发明提供一种基板量测系统，用于量测一基板上的线路信息，该基板量测系统包括一第一影像捕获设备、一第二影像捕获设备、一检测平台以及一处理装置。该第一影像捕获设备设置于该基板的俯视方向侧，用以获取该基板的一俯视影像。该第二影像捕获设备设置于该基板的侧视方向侧，用以获取该基板的一侧视影像。该检测平台用以调整该基板、该第一影像捕获设备以及该第二影像捕获设备之间的相对位置关系。该处理装置接收并根据该俯视影像及该侧视影像，产生该基板上的线路信息。

如上所述的基板量测系统，其中，可选的是，该基板上的线路信息包括上线宽、下线宽或/及线路侧视长度。

如上所述的基板量测系统，其中，可选的是，该处理装置根据该线路信息，以获得该基板上的线路厚度。

如上所述的基板量测系统，其中，可选的是，该处理装置根据该线路截面积，以获得该基板上的线路载流能力。

如上所述的基板量测系统，其中，可选的是，该线路信息更包括该基板上的目标线段路径。

如上所述的基板量测系统，其中，可选的是，该处理装置根据该线路信息，以获得该目标线段路径的线段体积。

如上所述的基板量测系统，其中，可选的是，该处理装置根据立体视觉法获得该基板的线路三维影像。

如上所述的基板量测系统，其中，可选的是，该线路信息更包括线路瑕疵信息。

如上所述的基板量测系统，其中，可选的是，该第一影像捕获设备或该第二影捕获设备的类型包括线扫描相机或面扫描相机。

如上所述的基板量测系统，其中，可选的是，该第二影像捕获设备的数目包括多个，且设置于该基板的相对两个侧视方向侧；其中该第二影像捕获设备的视角或倾斜角度为可调整的。