[发明专利]基板量测系统及其方法在审
| 申请号： | 202110209119.X | 申请日： | 2021-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN113390894A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 邹嘉骏;林伯聪;黄冠勋;张勋豪 | 申请（专利权）人： | 由田新技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/88;G01B11/24;G01B11/06;G01B11/02;G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 王立民;曾晨 |
| 地址： | 中国台湾新北市中*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板量测 系统 及其 方法 | ||
1.一种基板量测系统，用于量测一基板上的线路信息，其特征在于，该基板量测系统包括：
一第一影像捕获设备，设置于该基板的俯视方向侧，用以获取该基板的一俯视影像；
一第二影像捕获设备，设置于该基板的侧视方向侧，用以获取该基板的一侧视影像；
一检测平台，用以调整该基板、该第一影像捕获设备以及该第二影像捕获设备之间的相对位置关系；以及
一处理装置，接收并根据该俯视影像及该侧视影像，产生该基板上的线路信息。
2.如权利要求1所述的基板量测系统，其特征在于，该基板上的线路信息包括上线宽、下线宽或/及线路侧视长度。
3.如权利要求2所述的基板量测系统，其特征在于，该处理装置根据该线路信息，以获得该基板上的线路厚度或该基板上的线路截面积。
4.如权利要求3所述的基板量测系统，其特征在于，该处理装置根据该线路截面积，以获得该基板上的线路载流能力。
5.如权利要求2所述的基板量测系统，其特征在于，该线路信息更包括该基板上的目标线段路径。
6.如权利要求5所述的基板量测系统，其特征在于，该处理装置根据该线路信息，以获得该目标线段路径的线段体积。
7.如权利要求1所述的基板量测系统，其特征在于，该处理装置根据立体视觉法获得该基板的线路三维影像。
8.如权利要求1所述的基板量测系统，其特征在于，该线路信息更包括线路瑕疵信息。
9.如权利要求1所述的基板量测系统，其特征在于，该第一影像捕获设备或该第二影捕获设备的类型包括线扫描相机或面扫描相机。
10.如权利要求1所述的基板量测系统，其特征在于，该第二影像捕获设备的数目包括多个，且设置于该基板的相对两个侧视方向侧；其中该第二影像捕获设备的视角或倾斜角度为可调整的。
11.如权利要求1所述的基板量测系统，其特征在于，该检测平台包括一摄影机移动装置，用于承载并移动该第一影像捕获设备或该第二影像捕获设备。
12.一种基板量测方法，其特征在于，包括：
提供一第一影像捕获设备至该基板的俯视方向侧，用以获取该基板的一俯视影像；
提供一第二影像捕获设备至该基板的侧视方向侧，用以获取该基板的一侧视影像；
提供一检测平台调整该基板、该第一影像捕获设备以及该第二影像捕获设备之间的相对位置关系；
提供一处理装置接收并根据该俯视影像及该侧视影像，产生该基板上的线路信息。
13.如权利要求12所述的基板量测方法，其特征在于，该基板上的线路信息包括上线宽、下线宽或/及线路侧视长度。
14.如权利要求13所述的基板量测方法，其特征在于，还包括该处理装置根据该线路信息获得该基板上的线路截面积。
15.如权利要求14所述的基板量测方法，其特征在于，还包括该处理装置根据该线路截面积获得该基板上的线路载流能力。
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