[发明专利]反射测量装置有效
| 申请号： | 202110205870.2 | 申请日： | 2021-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN112986189B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 张立功;李颜涛;骆永石 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47;G01N21/55;G01N21/31;G01N21/35;G01N21/25 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种反射测量装置，包括棱形双面镜和凹面镜，棱形双面镜具有第一反射面和第二反射面，凹面镜设置在第一反射面的反射光路上，光学元件设置在凹面镜的反射光路上，探测光入射至第一反射面，并反射至凹面镜，在凹面镜的角度限制下入射至光学元件的表面，光学元件的反射光经第二反射面的反射后沿探测光的原光路射出。与多块反射镜结构相比，本发明只采用棱形双面镜+凹面镜的结构，探测光只需要经过4次反射，就能被探测器接收，这最大程度地减少了探测光的损失，提高了反射率测量的准确度。同时解决了2个反射镜设计结构中存在的反射镜间距太小不利于调整和光束发散的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 测量 装置 | ||
【主权项】：
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