[发明专利]反射测量装置

权利要求书

1.一种反射测量装置，其特征在于，包括棱形双面镜和凹面镜，所述棱形双面镜具有第一反射面和第二反射面，所述凹面镜设置在所述第一反射面的反射光路上，光学元件设置在所述凹面镜的反射光路上，探测光入射至所述第一反射面，并反射到所述凹面镜，在所述凹面镜的角度限制下入射至所述光学元件的表面，所述光学元件的反射光经所述第二反射面的反射后沿所述探测光的原光路射出；其中，

所述第一反射面与水平面所成的锐角A满足如下关系：

其中，L₁为棱形双面镜顶点与探测光交点之间的水平距离，所述棱形双面镜顶点为所述第一反射面与所述第二反射面的交点，所述探测光交点为入射到所述第一反射面的探测光与所述入射到所述光学元件表面的入射光的交点，d为所述探测光的光束的竖向尺寸。

2.根据权利要求1所述的反射测量装置，其特征在于，所述第二反射面与水平面所成的锐角B满足如下关系：

其中，α为所述探测光入射到所述光学元件表面的入射角。

3.根据权利要求2所述的反射测量装置，其特征在于，所述第一反射面与所述第二反射面所成的锐角为θ，则：

4.根据权利要求3所述的反射测量装置，其特征在于，所述锐角A的范围为19°～38°，所述凹面镜的焦距为200mm～300mm。

5.根据权利要求1所述的反射测量装置，其特征在于，在所述第一反射面的前方设置有用于控制所述探测光直径的孔径光阑。

6.根据权利要求1所述的反射测量装置，其特征在于，在所述第一反射面、所述第二反射面和所述凹面镜的反射面上分别镀有金属反射膜。