[发明专利]可实现三维原子探针微尖阵列样品转动的旋转样品台装置有效
| 申请号： | 202110190572.0 | 申请日： | 2021-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN113063967B | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 李慧;张孟超;寇春合;刘文庆;梁雪 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | G01Q30/20 | 分类号： | G01Q30/20 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人： | 顾勇华 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可放置三维原子探针微尖阵列样品的旋转样品台，由于三维原子探针激光模式光路设计的问题，不能同时大批量分析微尖阵列样品，需要设计一种可以自由旋转的样品台，提高实验效率。本旋转样品台主要包括固定装置，齿条，齿轮，以及转动轴。三维原子探针微尖阵列台上有四排针尖阵列，在分析时由于针尖互相遮挡激光的问题，四排阵列上的纳米针尖无法同批次完成分析，两排分析完后需转动180°后方可分析另两排。本设备通过齿轮与齿条的传动，进而带动转动轴，可实现微尖阵列样品的转动，在不需要将其取出仪器的前提下实现转动，大大提高测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 实现 三维 原子 探针 阵列 样品 转动 旋转 装置 | ||
【主权项】：
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