[发明专利]抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案的制造方法以及镀敷造型物的制造方法在审
| 申请号： | 202110189234.5 | 申请日： | 2021-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN113296357A | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 杉原昌子;西村崇;中西润次 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/16;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种对镀敷处理具有充分的耐性且能够精度优良地形成抗蚀剂图案的抗蚀剂组合物。并提供使用了该抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的制造方法、以及使用了该抗蚀剂图案的镀敷造型物的制造方法。本发明涉及含有具有醌二叠氮基磺酰基的化合物(I)、包含具有对酸不稳定的基团的结构单元的树脂(A1)、碱可溶性树脂(A2)及酸产生剂(B)的抗蚀剂组合物、使用该抗蚀剂组合物制造抗蚀剂图案的方法、以及使用该抗蚀剂图案制造镀敷造型物的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 图案 制造 方法 以及 造型 | ||
【主权项】：
暂无信息
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