[发明专利]掩膜版及掩膜版的精度检测方法在审
| 申请号： | 202110181795.0 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN112981318A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 张浩瀚;李慧;姚远 | 申请（专利权）人： | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 娜拉 |
| 地址： | 230037 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜版及掩膜版的精度检测方法，掩膜版包括：通用掩膜版，包括具有通用蒸镀开口的框式主体，框式主体具有沿各通用蒸镀开口周向延伸的内边缘区域，内边缘区域具有异形区段；异形段定位组件，包括沿异形区段分布的多个点状定位件，各点状定位件到相邻的通用蒸镀开口边缘的最小距离相等。各点状定位件到相邻的通用蒸镀开口边缘的最小距离相等，各点状定位件的位置间接表征通用蒸镀开口的异形边缘的位置，因而可以通过检测确定各点状定位件的位置来确定通用蒸镀开口的异形边缘的位置精度，提高了通用蒸镀开口的检测效率以及检测精度，并可以统一掩膜版供应商和使用方的检测方式，有效管控通用蒸镀开口的制作精度。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 精度 检测 方法 | ||
【主权项】：
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