[发明专利]掩膜版及掩膜版的精度检测方法

说明书

本发明公开了一种掩膜版及掩膜版的精度检测方法，掩膜版包括：通用掩膜版，包括具有通用蒸镀开口的框式主体，框式主体具有沿各通用蒸镀开口周向延伸的内边缘区域，内边缘区域具有异形区段；异形段定位组件，包括沿异形区段分布的多个点状定位件，各点状定位件到相邻的通用蒸镀开口边缘的最小距离相等。各点状定位件到相邻的通用蒸镀开口边缘的最小距离相等，各点状定位件的位置间接表征通用蒸镀开口的异形边缘的位置，因而可以通过检测确定各点状定位件的位置来确定通用蒸镀开口的异形边缘的位置精度，提高了通用蒸镀开口的检测效率以及检测精度，并可以统一掩膜版供应商和使用方的检测方式，有效管控通用蒸镀开口的制作精度。

技术领域

本发明属于电子产品技术领域，尤其涉及一种掩膜版及掩膜版的精度检测方法。

背景技术

目前对于一些显示装置的膜层或者车辆配件等部件需要通过掩膜版进行蒸镀成型，但由于待蒸镀成型的部件的形状多变，存在不规则的边缘，在对掩膜版对应的蒸镀开口精度检测时存在检测困难，检测精度不能保证，供应商和使用方存在双方检测结果不一致的现象，制约了对掩膜版精度的管控。

因此，亟需一种新的掩膜版及掩膜版的精度检测方法。

发明内容

本发明实施例提供了一种掩膜版及掩膜版的精度检测方法，各点状定位件的位置间接表征通用蒸镀开口的异形边缘的位置，因而可以通过检测确定各点状定位件的位置来确定通用蒸镀开口的异形边缘的位置精度，提高了通用蒸镀开口的检测效率以及检测精度。

本发明实施例一方面提供了一种掩膜版，包括：通用掩膜版，包括具有通用蒸镀开口的框式主体，所述框式主体具有沿各所述通用蒸镀开口周向延伸的内边缘区域，所述内边缘区域具有异形区段；异形段定位组件，包括沿所述异形区段分布的多个点状定位件，各所述点状定位件到相邻的所述通用蒸镀开口边缘的最小距离相等。

根据本发明的一个方面，各所述点状定位件到相邻的所述通用蒸镀开口的最小距离为100μm～150μm。

根据本发明的一个方面，相邻各所述点状定位件之间的最小距离均相等；优选的，所述相邻各所述点状定位件之间的最小距离为30μm～50μm。

根据本发明的一个方面，各所述点状定位件在所述框式主体上的正投影轮廓边缘上两点之间的最大距离为50μm～100μm。

根据本发明的一个方面，各所述点状定位件在所述框式主体上的正投影为矩形、十字形、椭圆形、圆形中的至少一种。

根据本发明的一个方面，所述框式主体具有相对的第一表面和第二表面，所述点状定位件设于所述第一表面和所述第二表面中的至少一者。

根据本发明的一个方面，各所述点状定位件的延伸轨迹为弧形、折线形中的至少一种。

根据本发明的一个方面，还包括边框部，所述边框具有中心开口，所述框式主体固定于所述中心开口内，所述边框上设有基准对位孔。

本发明实施例另一方面还提供了一种掩膜版的精度检测方法，包括：提供掩膜版，所述掩膜版为上述任一实施例中的掩膜版；获取所述掩膜版的各所述点状定位件的实际位置参数；比较已知的所述点状定位件的预设位置参数和所述实际位置参数以获取所述点状定位件的位置精度参数。

根据本发明的另一个方面，在所述获取所述掩膜版的各所述点状定位件的实际位置参数的步骤中：采用图像获取部获取所述掩膜版的各所述点状定位件的图像，根据所述图像获取所述点状定位件的实际位置参数。

根据本发明的另一个方面，在所述提供掩膜版和所述获取所述掩膜版的各所述点状定位件的实际位置参数的步骤之间，还包括：获取边框上的基准对位孔的位置参数以确定基准坐标系，其中，所述边框具有中心开口，所述框式主体固定于所述中心开口内，所述边框上设有所述基准对位孔；采用图像获取部获取所述掩膜版的各所述点状定位件的图像，根据所述图像获取所述点状定位件在所述基准坐标系上的实际位置参数。