[发明专利]一种大梯度相位型强光元件的可变补偿干涉检测系统与方法有效
| 申请号： | 202110161232.5 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN113008148B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 薛帅;石峰;宋辞;铁贵鹏;田野;邓明杰 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/12 | 分类号： | G01B11/12;G01B9/02 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 谭武艺 |
| 地址： | 410073 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大梯度相位型强光元件的可变补偿干涉检测系统与方法，系统包括波面干涉仪、标准镜头、待测大梯度相位型强光元件、扩束系统、SLM、SLM相位控制系统和平移台，扩束系统用于实现SLM口径与波面干涉仪口径的匹配，SLM的控制端与SLM相位控制系统相连，SLM相位控制系统用于控制SLM产生可变的像差补偿，补偿待测大梯度相位型强光元件的超波面干涉仪量程的大梯度波前像差，平移台用于控制补偿待测大梯度相位型强光元件的横向平移，使波面干涉仪逐一测量相位元件的各个子孔径。本发明结合SLM可变像差补偿技术与子孔径拼接技术，具有提高干涉仪对相位型强光元件波前梯度适应能力的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 梯度 相位 强光 元件 可变 补偿 干涉 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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