[发明专利]具有对称分布楼梯阶梯的微电子装置及相关系统及方法

摘要

本申请案涉及具有对称分布的楼梯阶梯的微电子装置及相关系统及方法。微电子装置包含在堆叠结构内且大体上对称分布在第一柱结构与第二柱结构之间的阶梯结构，所述第一柱结构与第二柱结构中的每一者垂直延伸通过所述堆叠结构。所述堆叠结构包含按层面布置的绝缘材料及导电材料的垂直交替序列。所述阶梯结构中的每一者包含具有台阶的楼梯结构，所述台阶包含所述层面中的一些的横向端。所述阶梯结构及与此类结构邻近的填充材料的大体上对称分布可大体上平衡材料应力以避免或最小化所述邻近柱的弯曲。还揭示相关方法及系统。