[发明专利]一种扰流式晶圆去膜设备

摘要

本发明公开了一种扰流式晶圆去膜设备，其结构包括控制台、操作台、伸缩盒、机体，控制台嵌固于机体的边侧位置，伸缩盒与机体的内部活动卡合，操作台安装于伸缩盒的上表面位置，通过晶圆对操作台上的四个夹持块之间产生的挤压，能够使夹持块沿着连接杆向后收缩，再通过永久磁铁材质的反吸块与吸力块同极相对产生的排斥，则能够使四个夹持块对晶圆进行夹持，通过伸缩盒向外拉扯产生的振动，能够使内转环在衔接珠的配合下沿着外环体的内侧进行转动，从而使上置板能够受内转环转动的甩力向上伸出，故而使上置板能够将晶圆向上顶起，有效的避免了晶圆在取出时会出现倾斜的情况。