[发明专利]一种金属掩膜版的张网控制方法有效
| 申请号： | 202110145652.4 | 申请日： | 2021-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN112458402B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 何远超;刘耀阳;徐健;顾骏 | 申请（专利权）人： | 上海精骊电子技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 刘璐 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区中国(上海)*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属掩膜版的张网控制方法，方法包括：获取金属掩膜版上各测量点位的当前位置，并与各测量点位的目标位置进行比较，得到各测量点位的当前位置偏差量；构建张网装置上各个夹爪的移动位移量与各个测量点位的位置变化量之间的函数关系；基于各测量点位的当前位置偏差量以及上述函数关系，计算出张网装置上各个夹爪需要移动的位移量；控制张网装置上各个夹爪移动需要移动的位移量，使得各个测量点位从当前位置调整到目标位置。本发明通过控制金属掩膜版上夹持部位的位移以将各测量点位的位置精度调整到需求规格内，可以增加金属掩膜版的张网对位精度，减少张网所需时间，提高张网成功率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 掩膜版 控制 方法 | ||
【主权项】：
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