[发明专利]一种电子级六氟化硫的多级制备方法有效
| 申请号： | 202110142779.0 | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN112850654B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 华祥斌;赖金香;张朝春;刘志强;罗浩;邱桂祥 | 申请（专利权）人： | 福建德尔科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B17/45 | 分类号： | C01B17/45 |
| 代理公司： | 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 | 代理人： | 徐东峰 |
| 地址： | 364000 福建省龙岩*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种电子级六氟化硫的多级制备方法，包括：将氟气通入卧式SF |
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| 搜索关键词： | 一种 电子 六氟化硫 多级 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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