[发明专利]一种电子级六氟化硫的多级制备方法

说明书

本发明提供了一种电子级六氟化硫的多级制备方法，包括：将氟气通入卧式SF₆反应单元，并与硫磺蒸汽在195～205℃持续反应形成SF₆粗气；将反应单元SF₆粗气除尘后通入热解单元中，将SF₆粗气中的S₂F₁₀气体热解；将步骤S2处理后的混合气体通入水洗单元进行水洗，得到一级纯化气体；将反应单元一级纯化气体通入碱洗单元进行碱洗，得到二级纯化气体；将反应单元二级纯化气体通入水气分离单元以去除水分得到三级纯化气体；将反应单元三级纯化气体通入低压吸附单元中吸附，得到四级纯化气体；将反应单元四级纯化气体通入高压吸附单元中吸附得到五级纯化气体；将反应单元五级纯化气体通入精馏单元进行精馏，得到电子级六氟化硫。

技术领域

本发明涉及一种电子级六氟化硫的多级制备方法。

背景技术

六氟化硫是一种无色、无臭、无毒、不燃的稳定气体，其分子结构呈八面体排布，键合距离小、键合能高，因此其稳定性很高，在温度不超过180℃时，它与电气结构材料的相容性和氮气相似。经常用于新一代超高压绝缘介质材料以及电子设备和雷达波导的气体绝缘体。电子级六氟化硫(纯度在99.999％以上)是电子气体的一种。高纯SF₆是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。目前我国电子行业使用的高纯SF₆主要还是进口。目前，国内厂家的工业级六氟化硫纯度大于99.9％，以市售的工业级六氟化硫为主。综上所述，国内特别需要一种电子级六氟化硫多级制备方法，以解决上述现有存在的问题。

发明内容

本发明提供了一种电子级六氟化硫的多级制备方法，可以有效解决上述问题。

本发明是这样实现的：

一种电子级六氟化硫的多级制备方法，包括以下步骤：

S1，将氟气通入卧式SF₆反应单元，并将硫磺连续进入反应室并加热形成硫磺蒸汽与所述氟气在195～205℃持续反应形成SF₆粗气；

S2，将所述SF₆粗气除尘后通入热解单元中，将SF₆粗气中的S₂F₁₀气体分解为SF₆和SF₄；

S3，将步骤S2处理后的混合气体通入水洗单元进行水洗，除去混合气体中的氟气、低硫氟化物，得到一级纯化气体；

S4，将所述一级纯化气体通入碱洗单元进行碱洗，除去HF、CO₂、SO₂气体，得到二级纯化气体；

S5，将所述二级纯化气体通入水气分离单元以去除水分得到三级纯化气体；

S6，将所述三级纯化气体通入低压吸附单元中吸附，去除微量水分和酸性物质，得到四级纯化气体；

S7，将所述四级纯化气体通入高压吸附单元中吸附低硫氟氧化物以及微量HF、H₂O，得到五级纯化气体；

S8，将所述五级纯化气体通入精馏单元进行精馏除杂，得到电子级六氟化硫。