[发明专利]一种电子级六氟化硫的多级制备方法

权利要求书

1.一种电子级六氟化硫的多级制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1，将氟气通入卧式SF₆反应单元，并将硫磺连续进入反应室并加热形成硫磺蒸汽与所述氟气在195～205℃持续反应形成SF₆粗气，其中，在步骤S1中，所述卧式SF₆反应单元包括串联的第一卧式SF₆反应器(1)以及第二卧式SF₆反应器(2)，且步骤S1中，所述将氟气通入卧式SF₆反应单元，并将硫磺连续进入反应室并加热形成硫磺蒸汽与所述氟气在195～205℃持续反应形成SF₆粗气的步骤包括：

S11，将所述氟气以及所述硫磺通入所述第一卧式SF₆反应器(1)，并控制反应温度为200～205℃持续反应；

S22，将所述第一卧式SF₆反应器(1)的反应产物通入所述第二卧式SF₆反应器(2)，并控制反应温度为190～200℃持续反应；

S2，将所述SF₆粗气除尘后通入热解单元中，将SF₆粗气中的S₂F₁₀气体分解为SF₆和SF₄，在步骤S2中，所述热解单元包括串联设置的第一热解塔(4)、第二热解塔(5)，以及在线分析仪(6)，且在步骤S2中，所述将所述SF₆粗气除尘后通入热解塔中的步骤包括：

S21，控制所述第一热解塔(4)的温度为300～310℃对所述S₂F₁₀气体进行热解，并通过所述在线分析仪(6)分析S₂F₁₀气体含量，当所述S₂F₁₀气体浓度高于第一阈值时，升高所述第二热解塔(5)的温度到310～315℃，否则，保持所述第二热解塔(5)的温度与所述第一热解塔(4)的温度相同；

S3，将步骤S2处理后的混合气体通入水洗单元进行水洗，除去混合气体中的氟气、低硫氟化物，得到一级纯化气体；

S4，将所述一级纯化气体通入碱洗单元进行碱洗，除去HF、CO₂、SO₂气体，得到二级纯化气体；

S5，将所述二级纯化气体通入水气分离单元以去除水分得到三级纯化气体；

S6，将所述三级纯化气体通入低压吸附单元中吸附，去除微量水分和酸性物质，得到四级纯化气体；

S7，将所述四级纯化气体通入高压吸附单元中吸附低硫氟氧化物以及微量HF、H₂O，得到五级纯化气体；

S8，将所述五级纯化气体通入精馏单元进行精馏除杂，得到电子级六氟化硫。

2.如权利要求1所述的电子级六氟化硫的多级制备方法，其特征在于，在步骤S3中，所述水洗单元包括串联的一级水洗塔(7)、二级水洗塔(8)、三级水洗塔(9)以及四级水洗塔(10)。

3.如权利要求1所述的电子级六氟化硫的多级制备方法，其特征在于，在步骤S4中，所述碱洗单元包括串联的一级碱洗塔(11)、二级碱洗塔(12)、三级碱洗塔(13)以及四级碱洗塔(14)。

4.如权利要求1所述的电子级六氟化硫的多级制备方法，其特征在于，在步骤S5中，所述水气分离单元包括顺序连接的气泵(15)、水气分离器(16)、旋风分离器(17)以及冷干机(18)；所述水气分离器(16)的排水管高于所述水气分离器(16)的底部设置以形成水封；所述旋风分离器(17)以及所述冷干机(18)设置于所述水气分离器(16)顶部，且所述旋风分离器(17)的排水管(171)以及所述冷干机(18)的排水管(181)均延伸到所述水气分离器(16)的水封内，以实现所述水气分离器(16)、所述旋风分离器(17)以及所述冷干机(18)的自动化排水。

5.如权利要求1所述的电子级六氟化硫的多级制备方法，其特征在于，在步骤S6中，所述低压吸附单元包括顺序串联的四级硅胶吸附塔(19)以及顺序串联于所述四级硅胶吸附塔(19)后的四级铝胶吸附塔(20)。