[发明专利]一种红外探测器及其制备方法

摘要

本公开涉及一种红外探测器及其制备方法，红外探测器包括衬底以及位于衬底上的热敏层、介质层、电极层和钝化层，介质层位于热敏层和电极层之间，热敏层位于介质层临近衬底的一侧，钝化层位于电极层远离衬底的一侧；红外探测器包括多个矩阵排列的红外探测器像元，红外探测器像元包括吸收板结构、至少两个微桥柱和至少两个梁结构，吸收板结构通过对应的梁结构连接至对应的微桥柱；热敏层覆盖吸收板结构和梁结构所在区域；其中，构成热敏层的材料包括非晶硅、非晶碳、非晶锗或非晶硅锗中的一种或几种；钝化层覆盖吸收板结构所在区域；其中，构成电极层的材料至少包括钛钨合金。通过本公开的技术方案，提高了红外探测器的红外响应率。