[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 202110116905.5 | 申请日： | 2021-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN113203514B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 德田智久;结城兴仁;田中达夫 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L9/06;G01L9/16 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压力传感器，能够在小的压力范围内以良好的灵敏度进行测定，并且能够在更宽的压力范围内高精度地进行测定。压力传感器具备膜片层(101)和形成于膜片层(101)的受压区域(102)。另外，该压力传感器具备第一压电应变元件(103a)、第二压电应变元件(103b)、第三压电应变元件(103c)、第四压电应变元件(103d)。另外，该压力传感器具备第一磁应变元件(104a)、第二磁应变元件(104b)、第三磁应变元件(104c)、第四磁应变元件(104d)。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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