[发明专利]一种带场板的金刚石场效应晶体管及其制备方法在审
| 申请号： | 202110116292.5 | 申请日： | 2021-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN112864235A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 郁鑫鑫;周建军;孔月婵 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L23/31;H01L29/78;H01L21/56;H01L21/336;H01L21/28 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 陆烨 |
| 地址： | 210016 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带场板的金刚石场效应晶体管及其制备方法，包括：氢终端金刚石衬底，栅介质层，钝化介质层和带有场板结构的栅电极；所述氢终端金刚石衬底上设有源极电极和漏极电极，所述源极电极和漏极电极和之间为沟道区域，所述栅介质层设置在沟道区域上，所述栅电极设置在栅介质层上，所述钝化介质层设置在栅介质上，位于栅电极的栅脚的两侧。本项发明不仅可以有效降低边缘峰值电场，提升器件的击穿电压，还能提升器件的高温稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带场板 金刚石 场效应 晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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