[发明专利]电镜定量消除像散的方法有效
| 申请号： | 202110091433.2 | 申请日： | 2021-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN112924477B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 郭振玺;季刚 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G01N23/20008 |
| 代理公司： | 成都方圆聿联专利代理事务所(普通合伙) 51241 | 代理人： | 宋红宾 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了电镜定量消除像散的方法，包括以下步骤：S1：收集电镜照片，定义电镜照片的坐标系；S2：在S1后，进一步，通过计算获得照片最大欠焦值D1、最小欠焦值D2和像散角θ；S3：测量电镜每个像散器调整量与像散值改变的线性关系；S4：在S3后，进一步，在像散值最小时，通过连续改变一个像散器调整的像散值，获取系列照片；S5：在S4后，进一步，计算获得的定量像散器调整值下的像散值，找出像散值与像散器调整值的关系；解决了以往消除像散精度低、速度慢的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 定量 消除 方法 | ||
【主权项】：
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