[发明专利]电镜定量消除像散的方法

权利要求书

1.电镜定量消除像散的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：收集电镜照片，定义电镜照片的坐标系；

S2：通过计算获得照片最大欠焦值D1、最小欠焦值D2和像散角θ；

S3：测量电镜每个像散器调整量与像散值改变的线性关系；

S4：在像散值最小时，通过连续改变一个像散器调整的像散值，获取系列照片；

S5：计算获得的定量像散器调整值下的像散值，找出像散值与像散器调整值的关系；

S6：将数据照片计算出的最大欠焦值D1、最小欠焦值D2和像散角θ按数学方法分别分解到两个像散器上，得出像散器X和像散器Y的调整值；

S7：在S6结合S3后，计算获得各个像散器调整值下的像散值，找出像散值与像散器调整值的关系；

S8：将像散值与像散器调整值的关系反馈到电镜，自动调整，实现定量像散消除；

所述S7包括以下子步骤：

S71：令X像散器上像散无限大，确定α角；

S72：确定X像散器调整量与x像散器像散消除直线关系，像散最小，连续调整x像散器D_x＝a₁+b₁ΔS_x；

S73：令X像散器上像散无限大，确定β角；

S74：确定y像散器调整量与x像散器像散消除直线关系，像散最小，连续调整y像散器D_y＝a₂+b₂ΔS_y；

S75：将获得的α，a1，b1，β，a2，b2，代入ΔSx和ΔSy中，

式中，b1表示x像散器像散改变量与调整步长之间直线关系的斜率，a1表示x像散器像散改变量与调整步长之间直线关系的截距，b2表示像散器像散改变量与调整步长之间直线关系的斜率，a2表示y像散器像散改变量与调整步长之间直线关系的截距，D1表示最大欠焦轴，D2表示最小欠焦轴，θ表示像散角，α表示像散器Sx的横坐标与图像水平轴X₀的夹角，D表示像散大小，β表示像散器Sy的横坐标与图像水平轴X₀的夹角，△Sx表示像散器Sx的调整量，△Sy表示像散器Sy的调整量。

2.根据权利要求1所述的电镜定量消除像散的方法，其特征在于，所述S6中X方向像散的表达式为：

式中，D1表示最大欠焦轴，D2表示最小欠焦轴，θ表示像散角，α表示像散器Sx的横坐标与图像水平轴X₀的夹角。

3.根据权利要求1所述的电镜定量消除像散的方法，其特征在于，所述S6中Y方向的像散的表达式为：

式中，D1表示最大欠焦轴，D2表示最小欠焦轴，θ表示像散角，β表示像散器Sy的横坐标与图像水平轴X₀的夹角。