[发明专利]一种具有泄压功能的石英真空吸附装置有效
| 申请号： | 202110088218.7 | 申请日： | 2021-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN112922952B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 胡龙辉 | 申请（专利权）人： | 宁波云德半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | F16B47/00 | 分类号： | F16B47/00;F17D1/04;F17D1/065;F17D3/01;F17D5/00 |
| 代理公司： | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人： | 侯申飞 |
| 地址： | 315336 浙江省宁波市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有泄压功能的石英真空吸附装置，包括真空吸盘、进气管、吹气管、三通接头、四通接头和若干连接管，真空吸盘上设有气孔，所述真空吸盘上设有环形凹槽，所述气孔位于环形凹槽内，所述真空吸盘外壁对应气孔位置处设有与气孔相连通的接头，所述进气管上设有真空发生器和吸气控制开关，所述进气管和吹气管均与气泵相连，吹气管上设有吹气泄压控制开关，所述四通接头的四个连接端口均可拆卸连接有连接管，且其中三根连接管分别与相应的接头可拆卸连接，所述三通接头分别与进气管、吹气管和其中一根所述的连接管可拆卸相连。本发明具有通过吹气有效泄压便于石英产品的拿取，拆装维护更换方便，真空吸附和吹气泄压控制便捷等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 功能 石英 真空 吸附 装置 | ||
【主权项】：
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