[发明专利]一种具有泄压功能的石英真空吸附装置

权利要求书

1.一种具有泄压功能的石英真空吸附装置，包括真空吸盘、进气管，真空吸盘上设有气孔，其特征在于：还包括吹气管、若干连接管、三通接头和四通接头，所述真空吸盘上设有环形凹槽，所述气孔位于环形凹槽内，所述真空吸盘外壁对应气孔位置处设有与气孔相连通的接头，所述进气管上设有真空发生器和吸气控制开关，所述进气管和吹气管均与气泵相连，吹气管上设有吹气泄压控制开关，所述四通接头的四个连接端口均可拆卸连接有连接管，且其中三根连接管分别与相应的接头可拆卸连接，所述三通接头分别与进气管、吹气管和其中一根所述的连接管可拆卸相连，所述进气管和吹气管上均安装有带表调压阀，所述进气管上的带表调压阀位于真空发生器和气泵之间，所述吹气管上的带表调压阀位于吹气泄压控制开关和气泵之间。

2.如权利要求1所述的具有泄压功能的石英真空吸附装置，其特征在于：所述连接管和三通接头之间、连接管和接头之间、连接管和四通接头之间、进气管和三通接头之间、吹气管和三通接头之间均采用插接方式相连，所述连接管、进气管和吹气管的连接端均呈阶梯状。

3.如权利要求1所述的具有泄压功能的石英真空吸附装置，其特征在于：所述接头、三通接头、四通接头的连接端口表面以及连接管、进气管和吹气管的连接端表面均设有环形凹口，环形凹口的纵截面呈半圆形，所述连接管和三通接头之间、连接管和接头之间、连接管和四通接头之间、进气管和三通接头之间、吹气管和三通接头之间连接后形成一个环形腔，环形腔内配合安装有环形密封圈。

4.如权利要求1或3所述的具有泄压功能的石英真空吸附装置，其特征在于：所述连接管和三通接头之间、连接管和接头之间、连接管和四通接头之间、进气管和三通接头之间、吹气管和三通接头之间均采用螺纹连接方式相连。

5.如权利要求1所述的具有泄压功能的石英真空吸附装置，其特征在于：所述进气管和吹气管的工作气压均控制在0.05～0.1b ar。

6.如权利要求1所述的具有泄压功能的石英真空吸附装置，其特征在于：所述环形凹槽的纵截面呈等腰梯形形状，环形凹槽的顶部端口两侧设置倒圆角。

7.如权利要求1所述的具有泄压功能的石英真空吸附装置，其特征在于：所述气孔的数量为3且三个气孔两两之间互成120°夹角。

8.如权利要求1所述的具有泄压功能的石英真空吸附装置，其特征在于：所述吸气控制开关和吹气泄压控制开关均为手动开关或电性开关。

9.如权利要求8所述的具有泄压功能的石英真空吸附装置，其特征在于：所述吸气控制开关和吹气泄压控制开关均为电性开关，所述吸气控制开关、吹气泄压控制开关和真空发生器均与PLC控制装置相连。