[发明专利]一种具有泄压功能的石英真空吸附装置有效
申请号: | 202110088218.7 | 申请日: | 2021-01-22 |
公开(公告)号: | CN112922952B | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 胡龙辉 | 申请(专利权)人: | 宁波云德半导体材料有限公司 |
主分类号: | F16B47/00 | 分类号: | F16B47/00;F17D1/04;F17D1/065;F17D3/01;F17D5/00 |
代理公司: | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人: | 侯申飞 |
地址: | 315336 浙江省宁波市杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 功能 石英 真空 吸附 装置 | ||
本发明公开了一种具有泄压功能的石英真空吸附装置,包括真空吸盘、进气管、吹气管、三通接头、四通接头和若干连接管,真空吸盘上设有气孔,所述真空吸盘上设有环形凹槽,所述气孔位于环形凹槽内,所述真空吸盘外壁对应气孔位置处设有与气孔相连通的接头,所述进气管上设有真空发生器和吸气控制开关,所述进气管和吹气管均与气泵相连,吹气管上设有吹气泄压控制开关,所述四通接头的四个连接端口均可拆卸连接有连接管,且其中三根连接管分别与相应的接头可拆卸连接,所述三通接头分别与进气管、吹气管和其中一根所述的连接管可拆卸相连。本发明具有通过吹气有效泄压便于石英产品的拿取,拆装维护更换方便,真空吸附和吹气泄压控制便捷等优点。
【技术领域】
本发明属于真空吸附装置的技术领域,尤其涉及一种具有泄压功能的石英真空吸附装置。
【背景技术】
真空吸附装置是一种常用的物品吸附固定装置,一般包括抽真空设备、连接管、真空吸盘几部分。现有的真空吸附装置存在整体拆装更换不便,拿取物品时由于真空吸盘和物品之间有时还保持真空状态导致物品拿取难度大等问题。
【发明内容】
本发明的目的就是解决现有技术中的问题,提出一种具有泄压功能的石英真空吸附装置,能够通过吹气有效泄压便于石英产品的拿取,拆装维护更换方便,真空吸附和吹气泄压控制便捷。
为实现上述目的,本发明提出了一种具有泄压功能的石英真空吸附装置,包括真空吸盘、进气管、吹气管、三通接头、四通接头和若干连接管,真空吸盘上设有气孔,所述真空吸盘上设有环形凹槽,所述气孔位于环形凹槽内,所述真空吸盘外壁对应气孔位置处设有与气孔相连通的接头,所述进气管上设有真空发生器和吸气控制开关,所述进气管和吹气管均与气泵相连,吹气管上设有吹气泄压控制开关,所述四通接头的四个连接端口均可拆卸连接有连接管,且其中三根连接管分别与相应的接头可拆卸连接,所述三通接头分别与进气管、吹气管和其中一根所述的连接管可拆卸相连。
作为优选,所述连接管和三通接头之间、连接管和接头之间、连接管和四通接头之间、进气管和三通接头之间、吹气管和三通接头之间均采用插接方式相连,所述连接管、进气管和吹气管的连接端均呈阶梯状,通过插接方式相连,方便工作人员进行插拔拆装。
作为优选,所述接头、三通接头、四通接头的连接端口表面以及连接管、进气管和吹气管的连接端表面均设有环形凹口,环形凹口的纵截面呈半圆形,所述连接管和三通接头之间、连接管和接头之间、连接管和四通接头之间、进气管和三通接头之间、吹气管和三通接头之间连接后形成一个环形腔,环形腔内配合安装有环形密封圈,环形密封圈的设置提高了整体管路连接密封性,环形密封圈安装方便。
作为优选,所述连接管和三通接头之间、连接管和接头之间、连接管和四通接头之间、进气管和三通接头之间、吹气管和三通接头之间均采用螺纹连接方式相连,通过螺纹连接,方便工作人员手动旋拧拆装。
作为优选,所述进气管和吹气管上均安装有带表调压阀,所述进气管上的带表调压阀位于真空发生器和气泵之间,所述吹气管上的带表调压阀位于吹气泄压控制开关和气泵之间,带表调压阀可直观读取管内压力值,进而方便工作人员根据需求有效对进气管和吹气管内的压力值进行调节,使得进气管和吹气管内压力值基本保持稳定,进而保证真空吸盘吸附的稳定性。
作为优选,所述进气管和吹气管的工作气压均控制在0.05~0.1Bar,保证石英产品被有效真空吸附住或吹起。
作为优选,所述环形凹槽的纵截面呈等腰梯形形状,环形凹槽的顶部端口两侧设置倒圆角,倒圆角处理避免损伤石英产品。
作为优选,所述气孔的数量为3且三个气孔两两之间互成120°夹角,使得真空吸盘对石英产品吸附作用力相对均匀,保证石英产品吸附稳固性和吸附后石英产品表面平整度。
作为优选,所述吸气控制开关和吹气泄压控制开关均为手动开关或电性开关,可通过手动或电动控制进气管或吹气管内气体流通情况。
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