[发明专利]中空阴极管启动方法、装置及中空阴极中和器有效
| 申请号: | 202110085518.X | 申请日: | 2021-01-22 |
| 公开(公告)号: | CN112908816B | 公开(公告)日: | 2023-07-04 |
| 发明(设计)人: | 刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波 | 申请(专利权)人: | 中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号: | H01J37/30 | 分类号: | H01J37/30;H01J37/08;H01J29/04 |
| 代理公司: | 广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙) 44614 | 代理人: | 王园园 |
| 地址: | 528400 广东省中山市火*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本申请涉及一种中空阴极管启动方法、装置及中空阴极中和器,所述方法包括:向中空阴极管导入工作气体;启动维持电源,向中空阴极管输入维持电流;对所述中空阴极管的头部位置进行持续加热;当所述中空阴极管的头部位置的温度满足热电子输出时,控制温度调整至设定温度值;开启阴极电源向中空阴极中和器提供工作电源;该技术方案能适应低温阴极材料工作环境,降低了高压启动对电源的要求,无需大量的气体流量来启动,便于启动控制。 | ||
| 搜索关键词: | 中空 阴极 启动 方法 装置 中和 | ||
【主权项】:
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