[发明专利]一种MEMS热电堆红外探测器在审
| 申请号： | 202110083916.8 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN112903117A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 丁雪峰;张琛琛;毛海央 | 申请（专利权）人： | 江苏创芯海微科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/12 | 分类号： | G01J5/12;G01J5/52 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 韩凤 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新区菱*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS热电堆红外探测器。其包括热电堆红外探测器本体；还包括自校准结构，所述自校准结构与所述热电堆红外探测器本体的红外吸收区或热偶条的热端相对应；在校准时，通过自校准结构能对热电堆红外探测器本体内热电堆的热端加热，且在加热后，通过所述自校准结构能测量所述热电堆红外探测器本体内热电堆热端或邻近热端的红外吸收区的温度。以能利用测量得到热电堆红外探测器本体内热电堆热端或邻近热端的红外吸收区的温度与所述热电堆红外探测器本体相对应的输出电压，实现对热电堆红外探测器本体进行所需的校准。本发明能实现自校准，简化校准过程，降低校准成本，提高校准的适用范围，安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 热电 红外探测器 | ||
【主权项】：
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