[发明专利]纯相位液晶空间光调制器校准平台及方法有效
| 申请号： | 202110078542.0 | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN112904601B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 侯煜;李曼;王然;岳嵩;张昆鹏;石海燕;张喆;薛美;张紫辰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 陈晓瑜 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种纯相位液晶空间光调制器校准平台，包括：激光发生模块，用于产生原始激光束；分光镜，设置在原始激光束的光路上，分光镜用于将激光发生模块发射的激光分为第一激光束和第二激光束；反射镜，设置在第一激光束的光路上，反射镜用于将第一激光束反射为第一反射激光束；摆台，设置在第二激光束的光路上，摆台用于承载纯相位液晶空间光调制器，纯相位液晶空间光调制器用于对第二激光束调制为第二反射激光束；成像模块，设置在第一反射激光束和第二反射激光束相交的位置，成像模块用于采集第一反射激光束和第二反射激光束的干涉图像。本发明能够得到调制后的激光束与调制前的激光束的差异，得到准确的纯相位液晶空间光调制器的调制特性。 | ||
| 搜索关键词： | 相位 液晶 空间 调制器 校准 平台 方法 | ||
【主权项】：
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