[发明专利]一种非接触式柔性透明传感器及其制备方法在审
申请号: | 202110076216.6 | 申请日: | 2021-01-20 |
公开(公告)号: | CN113220153A | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 杨雷;陈思成;郭艳婕;汪云飞;王淼 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041;G06F3/01 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 范巍 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种非接触式柔性透明传感器及其制备方法,属于柔性传感器领域。由底层的绝缘支撑层和沉积在绝缘支撑层表面的导电感应层组成,绝缘支撑层和导电感应层的接触面为复合粗糙表面;采用四端检测由于手部移动引起的电荷在传感层表面的重新分布,实现基于手势的非接触式的传感与控制。这种双层结构具有通用性,其传感层可以选用氧化铟锡、铜等导电薄膜,支撑层可以选用玻璃、石英以及显示屏等。另一方面,我们将等离子体刻蚀工艺,在传感层表面制备了粗糙结构增加了比表面积,使传感器的输出信号获得了极大提升,从而为近场传感器提供了更高的灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 一种 接触 柔性 透明 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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