[发明专利]一种高振型稳定性的宽频响硅微机械加速度计有效
| 申请号： | 202110071869.5 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN112881755B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 申强;张学优;李鹏;周玮;郝永存;常洪龙;雷雨秋;董勤晓;刘宗杰 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学;中国电力科学研究院有限公司;国网山东省电力公司济宁供电公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;B81B7/02 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 吕湘连 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有高振型稳定性、宽频率响应特征的电容式硅微机械加速度计结构，属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该加速度计依次包括基底硅体3、锚点2和器件层1。器件层1通过锚点2悬置于基底硅体3上方；所述器件层1由框架式结构4和弹性梁组5构成；所述框架式结构4为方形外围框架结构4‑2和连接中央横梁4‑1组成的“日”字形结构。该加速度计结构具有易于加工、结构误差免疫工艺误差等特点，八爪构型特征的结构显著提高面内振型稳定性，内框架的弹性梁和锚点约束抑制面外振动，该器件结构能够有效压缩有用振型至一阶模态，将多个有害振型排挤至二阶及以上的高阶模态，有效隔离高阶有害振型对一阶有用振型的影响，显著提升了加速度计结构在高频响应范围的振型稳定性，提高了器件精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高振型 稳定性 宽频 微机 加速度计 | ||
【主权项】：
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