[发明专利]一种高振型稳定性的宽频响硅微机械加速度计有效
| 申请号： | 202110071869.5 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN112881755B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 申强;张学优;李鹏;周玮;郝永存;常洪龙;雷雨秋;董勤晓;刘宗杰 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学;中国电力科学研究院有限公司;国网山东省电力公司济宁供电公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;B81B7/02 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 吕湘连 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高振型 稳定性 宽频 微机 加速度计 | ||
1.一种高振型稳定性的宽频响硅微机械加速度计，依次包括基底硅体(3)、锚点(2)和器件层(1)；器件层(1)通过锚点(2)悬置于基底硅体(3)上方；所述器件层(1)由框架式结构(4)和弹性梁组(5)构成；
所述框架式结构(4)为方形外围框架结构(4-2)和连接中央横梁(4-1)组成的“日”字形结构；定义连接中央横梁(4-1)的轴向为x向，器件层上与x垂直的方向为y向；
所述弹性梁组(5)包括四根直梁(5-1，5-2，5-3，5-4)，以及八根蛇形折叠梁(5-5，5-6，5-7，5-8，5-9，5-10，5-11，5-12)，所述连接中央横梁(4-1)通过对称分布在其两侧的四根直梁(5-1，5-2，5-3，5-4)悬置于其两侧的锚点上，且所述连接中央横梁(4-1)与四根直梁轴线垂直相交；所述方形外围框架结构(4-2)通过对称分布在其y向两侧的八根蛇形折叠梁悬置于其相应锚点上，形成框架式结构(4)的八爪构型弹性梁约束，其中四根蛇形梁置于框架结构四角；
由框架式结构(4)和弹性梁组(5)构成的器件层(1)在x和y方向上均完全对称；
所述八爪构型特征的结构提高面内振型稳定性，内框架的弹性梁和锚点约束抑制面外振动，该器件层结构能够压缩有用振型至一阶模态，将多个有害振型排挤至二阶及以上的高阶模态，隔离高阶有害振型对一阶有用振型的影响，提升加速度计结构在高频响应范围的振型稳定性。
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