[发明专利]非极性GaN基微型发光二极管及制备方法在审

专利信息
申请号: 202110060273.5 申请日: 2021-01-18
公开(公告)号: CN112736168A 公开(公告)日: 2021-04-30
发明(设计)人: 许晟瑞;张怡;许文强;张金风;彭利萍;张雅超;任泽阳;张进成;郝跃 申请(专利权)人: 西安电子科技大学
主分类号: H01L33/06 分类号: H01L33/06;H01L33/32;H01L33/00
代理公司: 陕西电子工业专利中心 61205 代理人: 王品华
地址: 710071*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种非极性GaN基微型发光二极管及其制备方法,主要解决现有极性GaN基微型发光二极管中由于极化效应的影响,导致发光效率不高的问题。其自下而上包括:衬底,高温AlN成核层,n型GaN层,InxGa1‑xN/GaN多量子阱,p型GaN层,该n型GaN层和p型GaN层上分别设有n型电极和p型电极。其中:衬底采用r面蓝宝石,用以外延生长非极性a面GaN,InxGa1‑xN/GaN多量子阱为非极性,其周期数为5,且InxGa1‑xN阱层的In含量x的调整范围为0.1‑0.4。本发明消除了由极化效应造成的不良影响,进而提升了器件的发光效率,可用来制作高亮度、高分辨率和高对比度的显示器。
搜索关键词: 极性 gan 微型 发光二极管 制备 方法
【主权项】:
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