[发明专利]悬浮运输装置和激光处理装置在审
| 申请号： | 202110046408.2 | 申请日： | 2021-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN113247623A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 藤贵洋;山口芳広;永井岳志 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本制钢所 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及悬浮运输装置和激光处理装置，根据实施例的悬浮运输装置在将气体喷射到基板的下表面来使基板浮置的同时运输基板。悬浮运输装置包括设置在基板侧的上板，该上板包括用于喷射气体的多个喷射口，以及设置在上板下方的下板。在上板和下板中的至少一个上设置有用于向多个喷射口供应气体的流路。 | ||
| 搜索关键词： | 悬浮 运输 装置 激光 处理 | ||
【主权项】：
暂无信息
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