[发明专利]一种用于曝光机的曝光光头标定方法及标定装置有效
| 申请号： | 202110043203.9 | 申请日： | 2021-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN112859537B | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 程刚;陈东;项宗齐 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于曝光机的曝光光头标定方法，包括以下步骤：步骤1、移动光敏标定板至曝光光头下方，然后所有曝光光头在光敏标定板上曝光出标定图案；步骤2、通过对准相机对光敏标定板上的标定图案进行检测；步骤3、根据步骤2中的检测结果计算所有曝光光头的相对位置，进而完成一次曝光光头的位置标定，本申请通过在吸盘上设置有光敏标定板，曝光光头在标定时保持位置不动，所有光头一次性同时在光敏标定板上面爆光出标定图案，然后利用对准相机抓取上述曝光光头在光敏标定板上面爆光的标定图案，以此来计算标定各个曝光光头的相对位置关系，因而避免了曝光光头由于质量很重在移动过程中不可避免的较大运动误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 曝光 光头 标定 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥芯碁微电子装备股份有限公司，未经合肥芯碁微电子装备股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110043203.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可防昆虫进入的户外遥感监测装置
- 下一篇：一种拆卸方便的防触电线路板装置
