[发明专利]一种用于曝光机的曝光光头标定方法及标定装置

说明书

本发明公开了一种用于曝光机的曝光光头标定方法，包括以下步骤：步骤1、移动光敏标定板至曝光光头下方，然后所有曝光光头在光敏标定板上曝光出标定图案；步骤2、通过对准相机对光敏标定板上的标定图案进行检测；步骤3、根据步骤2中的检测结果计算所有曝光光头的相对位置，进而完成一次曝光光头的位置标定，本申请通过在吸盘上设置有光敏标定板，曝光光头在标定时保持位置不动，所有光头一次性同时在光敏标定板上面爆光出标定图案，然后利用对准相机抓取上述曝光光头在光敏标定板上面爆光的标定图案，以此来计算标定各个曝光光头的相对位置关系，因而避免了曝光光头由于质量很重在移动过程中不可避免的较大运动误差。

技术领域

本发明涉及曝光机技术领域，具体是一种用于曝光机的曝光光头标定方法及标定装置。

背景技术

在激光直写曝光机技术领域，光头位置标定是激光直写曝光机设备曝光的重要工序。设备运行一段时间后，光头位置关系偏差会发生图形拼接不上等问题，导致产品曝光不良报废，因此，每隔一段时间就要对光头位置关系进行标定。此外，PCB板需要多次曝光，每次曝光时都要对其进行对准确定其准确位置。但光头的标定和PCB板的对准都需要曝光光头和对准相机在其运动轴上运动，并且曝光光头的质量很重，在移动过程中则不可避免的产生较大的运动误差，而曝光过程中需要两者的数据共同对机台提供参考，由此就产生了由于运动轴的误差所导致的曝光机台系统误差。甚至影响曝光产品的精度和生产成本。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于曝光机的曝光光头标定方法及标定装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种用于曝光机的曝光光头标定方法，包括以下步骤：

步骤1、移动光敏标定板至曝光光头下方，然后所有曝光光头在光敏标定板上曝光出标定图案；

步骤2、步骤1中的光敏标定板移动至对准相机下方，通过对准相机对光敏标定板上的标定图案进行检测；

步骤3、根据步骤2中的检测结果计算所有曝光光头的相对位置，进而完成一次曝光光头的位置标定。

作为本发明进一步的方案：所述步骤中所有曝光光头同时在光敏标定板上曝光出标定图案。

作为本发明进一步的方案：所述步骤中通过对准相机在光敏标定板上方水平移动来抓取曝光光头在光敏标定板上曝光的标定图案。

作为本发明进一步的方案：所述步骤中光敏标定板移动至曝光光头下方时，所述曝光光头在光敏标定板上的投影位置位于所述光敏标定板上未曝光标定图案的区域。

作为本发明进一步的方案：所述光敏标定板上设有至少一个光敏标定区，所述光敏标定区的数量不小于所述曝光光头的数量。

作为本发明进一步的方案：所述光敏标定区设有n*m个矩阵布置的标定块，所述标定块的坐标为(0,0)-(n,m)，当上次曝光光头标示时曝光的标定块的坐标为(x,y)，若xn，则本次标定时曝光的标定块的坐标为(x+1,y)，若x＝n且ym，则本次标定时曝光的标定块的坐标为(0,y+1)，若x＝n且y＝m时，则更换光敏标定板。

一种用于曝光机的曝光光头标定装置，所述包括机架，所述机架上端设有曝光光头、对准相机、吸盘，所述曝光光头、对准相机位于所述吸盘的上方，所述对准相机与所述机架水平滑动连接，所述吸盘与所述机架滑动连接，所述吸盘上端可拆卸连接有光敏标定板。

作为本发明进一步的方案：所述对准相机通过对准轴与所述机架水平滑动连接。

作为本发明进一步的方案：所述述吸盘下方设有支撑板，所述支撑板通过滑轨与所述机架滑动连接。

作为本发明进一步的方案：所述吸盘上可拆卸连接有曝光PCB板，光敏标定板与曝光PCB板在吸盘上前后分布。