[发明专利]一种挡板装置和曝光机有效
| 申请号： | 202110035248.1 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN112764325B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 王虎 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 远明 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种挡板装置和曝光机，所述曝光机包括位于所述挡板装置上方的掩模版，所述挡板装置包括多个挡板装置，所述多个挡板装置围成位于所述掩模版下方的透光区，所述挡板装置上具有高度调整机构。所述挡板装置根据要形成的遮光区域在水平方向移动，由于挡板装置在不同的位置时其边缘与所述掩模版的纵向距离可能不同，而所述纵向距离越大则产生的灰区范围越大。所述高度调整机构可以控制所述挡板装置的边缘在水平移动的过程中与所述掩模版的纵向距离大于零且小于第一预设距离，这样不会使挡板装置刮伤掩模版，而且还可以使掩模版到挡板装置边缘的纵向距离保持在较小范围，进而可以减小灰区范围，从而提高挡板装置的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 挡板 装置 曝光 | ||
【主权项】：
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