[发明专利]一种光电转换装置的形成方法有效
申请号: | 202110022527.4 | 申请日: | 2021-01-08 |
公开(公告)号: | CN112885931B | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 尤小月 | 申请(专利权)人: | 广东顺德侨安电子有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L31/0352;H01L31/0224 |
代理公司: | 北京高航知识产权代理有限公司 11530 | 代理人: | 王庞 |
地址: | 528000 广东省佛山市顺德区容桂容*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种光电转换装置的形成方法,包括:提供P‑型半导体衬底;N‑型光电二极管掺杂区,P+型空穴累积区,N型电荷保持区,P型电荷阻挡区,位于栅极绝缘层上方的传输栅电极、倍增栅电极、读取栅电极,复位栅电极结构,悬浮掺杂区,包括N+型子悬浮掺杂区和N‑型子悬浮掺杂区,所述N+型子悬浮掺杂区包围所述N‑型子悬浮掺杂区,N+型复位漏极区,可有效抑制了N‑型光电二极管掺杂区至N+型复位漏极区的漏电,提高电学性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 光电 转换 装置 形成 方法 | ||
【主权项】:
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