[发明专利]图像传感器及其制造方法

摘要

提供了一种具有改进性能的图像传感器及其制造方法。图像传感器包括传感器阵列区及设置在传感器阵列区外部的焊盘区。图像传感器包括：第一衬底，包括光入射的第一表面及与第一表面相对的第二表面；第一衬底中传感器阵列区处的第一隔离膜，限定多个单位像素；第二衬底，包括面向第一衬底的第二表面的第三表面，以及与第三表面相对的第四表面；配线结构，在第二表面和第三表面之间，包括层间绝缘膜和层间绝缘膜中的配线；焊盘区中的焊盘沟槽，穿过第一衬底暴露配线；焊盘沟槽中的接合端子，连接到配线；以及第一衬底中焊盘区处的第二隔离膜，第二隔离膜邻近焊盘沟槽，其中第一隔离膜和第二隔离膜中每一个的宽度沿从第二表面到第一表面的方向减小。